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FF-160/700復合分子泵技術性能: | |||||
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產品型號 |
FF-160/700 | ||||
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進氣口法蘭 |
DN160LF |
DN160CF | |||
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抽氣速率L/S（對空氣） |
700 | ||||
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壓縮比 |
N2 |
>109 | |||
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H2 |
6×106 | ||||
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極限壓強(Pa) |
6×10-7 |
6×10-8 | |||
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排氣口法蘭 |
KF40 | ||||
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使用軸承 |
陶瓷脂潤滑軸承 | ||||
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啟動時間（min） |
＜4 | ||||
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額定工作轉數(shù)（rpm） |
36000 | ||||
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建議采用前級泵L/S |
4-8 | ||||
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冷卻方式和水溫 |
水冷，≤25℃ | ||||
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安裝方式 |
任意角度 | ||||
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泵體烘烤溫度（℃） |
＜120 | ||||
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環(huán)境溫度（℃） |
5～40 | ||||
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重量（kg） |
19 | ||||
