設(shè)備介紹:
• STN-4B6 是為硬質(zhì)膜而設(shè)計(jì)的PVD鍍膜機(jī)。它擁有6套高性能的電弧型等離子加速型離化源。
• 高性能的電弧型離化源技術(shù)為獲得極高的離化率提供了保證，同時(shí)配以精心設(shè)計(jì)的偏壓電源和真空系統(tǒng)，得到穩(wěn)定、光滑、良好附著力以及堅(jiān)硬的離子鍍膜層不再困難。
• 為了得到硬質(zhì)膜層，我們將提供鈦靶材和獲得氮化鈦的鍍膜工藝。
• 其他的膜層的制備，我們僅需要更換不同的靶材，不同的反應(yīng)氣體，和不同控制程序即可。這種改變可以在很短的時(shí)間內(nèi)完成。
• 先進(jìn)的電弧控制系統(tǒng)，由電弧監(jiān)測(cè)，控制和再次引弧系統(tǒng)構(gòu)成�？梢栽诤撩霑r(shí)間做出反應(yīng)。
并再次引弧。對(duì)保證膜層光滑有非常重要的作用。
• 真空過程由一臺(tái)帶有觸摸屏的PLC 控制單元全自動(dòng)控制。
• 腔體，真空系統(tǒng)，流量控制，加熱單元，等均采用一流元件裝配和制造，保證整機(jī)擁有一流的可靠性。
主要配置:
真空腔體結(jié)構(gòu)
• 真空腔體內(nèi)尺寸Φ800×H800 mm
• 不銹鋼, 雙層腔壁, 水冷
• 一個(gè)前門，水冷的前門有和真空腔體一樣的弧度,目的是為了在真空的條件下使前門保持足夠的強(qiáng)度。在前門上有2個(gè)有水冷的觀察窗
• 底部中間加熱器，功率12KW
• 溫度測(cè)量為熱電偶，PID控制
真空泵系統(tǒng)
• 1臺(tái)抽速7800L/s的油擴(kuò)散泵(自動(dòng)恒溫單元)
• 1臺(tái)抽速150L/s的羅茲真空泵
• 2臺(tái)抽速分別為30L/s和15L/s的旋片式真空泵
電弧靶
• 數(shù)量：6
• 型式：EP-10高性能電弧源
• 靶材尺寸：Φ100 x 40 mm
• 位置： 環(huán)繞真空腔體
• 電源供應(yīng)： 直流，最大160A，自動(dòng)引弧
轉(zhuǎn)架
• 有效鍍膜空間：Φ600×H600mm
• 最大裝載質(zhì)量：200kg
• 行星式轉(zhuǎn)動(dòng)：6根主軸各帶4根子軸
• 自傳直徑：Φ300mm/Φ100mm
• 控制方式：變頻控制
偏壓電源
• 電源功率：30KW
• 型式：自適應(yīng)
控制系統(tǒng)
• PLC 觸摸屏,自動(dòng)控制,良好的彩色人機(jī)界面
• 可編程全量程真空計(jì)
• 4 通道MFC(質(zhì)量流量控制器）
