設(shè)備介紹：
• STN-500A 是為硬質(zhì)鍍膜而設(shè)計的PVD鍍膜機(jī)。它擁有2套高性能的電弧型等離子加速型離化源。
• 高性能的電弧型離化源技術(shù)為獲得極高的離化率提供了保證，同時配以精心設(shè)計的偏壓電源和真空系統(tǒng)，得到穩(wěn)定、光滑、良好附著力以及堅硬的離子鍍膜層不再困難。
• 為了得到金色的膜層，我們將提供鈦靶材和鋯靶材以及氮化鈦和氮化鋯的鍍膜工藝。
• 其他的膜層的制備，我們僅需要更換不同的靶材，不同的反應(yīng)氣體，和不同控制程序即可。
這種改變可以在很短的時間內(nèi)完成。
• 先進(jìn)的電弧控制系統(tǒng)，由電弧監(jiān)測，控制和再次引弧系統(tǒng)構(gòu)成�？梢栽诤撩霑r間做出反應(yīng)。
并再次引弧。對保證膜層光滑有非常重要的作用。
• 真空過程由一臺帶有觸摸屏的PLC 控制單元全自動控制。
• 腔體，真空系統(tǒng)，流量控制，加熱單元，等均采用一流元件裝配和制造，保證整機(jī)擁有一流的可靠性。
主要配置:
真空腔體結(jié)構(gòu)
• 真空腔體內(nèi)尺寸Φ500×H500 mm
• 不銹鋼, 雙層腔壁, 水冷
• 一個前門，水冷的前門有和真空腔體一樣的弧度,目的是為了在真空的條件下使前門保持足夠的強(qiáng)度。
在前門上有2個有水冷的觀察窗。
• 底部中間加熱器，功率6KW
• 溫度測量為熱電偶，PID控制
真空泵系統(tǒng)
• 1臺抽速為2100 L/s的油擴(kuò)散泵(自動恒溫單元)
• 1 臺抽速為15L/s的旋片式真空泵
電弧靶
• 數(shù)量：2
• 型式：EP-10高性能電弧源
• 靶材尺寸：Φ100 x 40 mm
• 位置： 環(huán)繞真空腔體
• 電源供應(yīng)： 直流，最大160A，自動引弧
轉(zhuǎn)架
• 有效鍍膜空間：Φ300×H300mm
• 最大裝載質(zhì)量：50kg
• 行星式轉(zhuǎn)動：3 根主軸各帶3 根子軸
• 自傳直徑：Φ170mm/Φ80mm
• 控制方式：變頻控制
偏壓電源
• 電源功率：10KW
• 型式：自適應(yīng)
控制系統(tǒng)
• PLC 觸摸屏,自動控制,良好的彩色人機(jī)界面
• 可編程全量程真空計
• 3 通道MFC(質(zhì)量流量控制器）