用途及使用范圍
1.S1000-A8-TP 型離子鍍膜機(jī)是一臺(tái)多弧離子鍍膜設(shè)備，可在不銹鋼，碳鋼，硬質(zhì)合金，等金屬材料表面鍍覆 TiN，ZrN，ZrNC，CrN，TiCN, TiAlN, TiCrN及其它復(fù)合膜層，從而提高制品表面的耐磨性能和抗蝕性能，并提高產(chǎn)品的高技術(shù)含量。
2.該機(jī)為特別開發(fā)的工具、模具硬質(zhì)鍍膜專用機(jī)。
技術(shù)指標(biāo)
鍍膜室尺寸:Φ1000 mm X 1000 mm
極限真空度:優(yōu)于＜1.3×10-3pa（冷態(tài)包括轉(zhuǎn)架）
排空時(shí)間:（冷態(tài)，包括工件架）在擴(kuò)散泵已正常工作情況下,從大氣抽至6.6 x 10-3 Pa時(shí)間〈 20min
等離子體加速器離化源數(shù):8個(gè)
采用最新開發(fā)的五極離化源:確保顆粒細(xì)膩;幅射均勻;高真空穩(wěn)弧
•內(nèi)置加速電場(chǎng)
•恒定高斯的水平磁場(chǎng)
•直接水冷（或間接水冷）
•自動(dòng)引弧
•快速續(xù)弧
•采用自穩(wěn)弧電源
工件架直流負(fù)偏壓電源：36 KVA
采用德國(guó)霍廷格脈沖直流偏壓電源
先進(jìn)的電弧管理技術(shù)，極低的電弧剩余能量
靈活的電弧管理系統(tǒng)支持多種工藝和應(yīng)用
沉積超薄、均勻的膜層
優(yōu)化電源參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量和高性能;維護(hù)成本低
可靠性高，使用壽命長(zhǎng)
36KW配8弧設(shè)備使用,每弧分配功率高達(dá)4.5KW。裝滿爐,開全靶,1KV齊轟輕松自如
•特定函數(shù)波形輸出,徹底消除危害性弧光
•數(shù)字邏輯控制,準(zhǔn)確無(wú)誤
•調(diào)制電壓的主弧轟擊,場(chǎng)能強(qiáng)大
•輔助的快速恢復(fù)功能,減少活化時(shí)間
工件架轉(zhuǎn)速（內(nèi)6軸外8軸）額定值:公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速4r/mim,自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速15r/min。
•變頻調(diào)速,無(wú)級(jí)漸變,緩起緩?fù)?可換向
•負(fù)重200KG
供氣系統(tǒng):兩路（可選配三路或四路）比例給氣自動(dòng)質(zhì)量流量控制.流量500－1000 SCCM 每路
•自動(dòng)跟隨真空室壓強(qiáng),自動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
•每路氣均有質(zhì)量流量顯示
•無(wú)需混氣罐,調(diào)節(jié)無(wú)滯后
•預(yù)設(shè)比例,總量自動(dòng)或手動(dòng)均可
•預(yù)設(shè)強(qiáng)置換功能,生成起步氣沖
加熱器輸出功率0-18KW
壓強(qiáng)控制:節(jié)流閥;自動(dòng)壓強(qiáng)調(diào)節(jié)
設(shè)備總功率:110KVA,380V,三相四線制
設(shè)備總重:3.5t
設(shè)備占地面積:5m X 8m
冷卻水流量:8t/hr